Système semi-actif de contrôle de niveau en temps réel pour une isolation anti-vibratoires efficace des machines les plus sensibles.

Il répond aux exigences de tolérance et de précision serrées (de positionnement et de temps de stabilisation) et convient aux dynamiques les plus élevées.

Possibilité de gérer en temps réel jusqu'à 6 degrés de liberté
Positionnement précis du système (± 8 µm)
Paramètres du système réglables indépendamment (par ex. le taux d’amortissement)
Un régulateur et une soupape électropneumatique proportionnelle rapide pour chaque degré de liberté
Schéma de raccordement optimisé grâce à la technologie de bus CAN
Interface utilisateur intelligente (navigateur, diagnostic, surveillance…) en mode WebVISU
Interfaces numériques E/S pour la commande et la surveillance externes
Régulation sans bruits

Machines haute précision
Machines de mesure sensibles aux chocs et à forte dynamique
Microscopes
Machine d'inspection ou de production du domaine des semi-conducteurs
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