Le système d’isolation actif AIS™ est un système électropneumatique actif contre les vibrations avec régulation efficace en temps réel.

Il se comporte comme un actuateur destiné aux plus hautes exigences en termes d’isolation, de temps de stabilisation et en maintien du niveau.

Isolation électropneumatique active sur 6 degrés de liberté (6 DOF)
Isolation efficace des très basses fréquences
Compensation des vibrations en temps réel, sans amplification de résonance
Positionnement précis du système (vertical et horizontal à ± 10 µm)
Ajustement automatique en temps réel
Logiciel WinSNI/WebVisu intelligent de paramétrage et de diagnostic du système
Chaque régulateur possède un microprocesseur qui intègre des capteurs ultraprécis de position, de pression et d’accélération
Aucun signal Feedforward requis
Aucune perturbation électromagnétique, calorifique et faible consommation électrique, comparé aux actuateurs électromagnétiques

Isolation vibratoire optimale des machines de mesures ou d’essais de très haute précision ainsi que les machines d’inspection ou de production du domaine des semi-conducteurs.

Installations laser
Microscopes électroniques
Appareils de lithographie
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